Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel VAŠINA Petr
Rok publikování	2012
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of the target.
Související projekty:	Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev