Feedback system to control reactive magnetron sputtering

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Rok publikování 2012
Druh Článek ve sborníku
Konference Potential and Applications of Surface Nanothreatment of Polymers and Glass
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova sputtering; magnetron; hysteresis
Popis The process of reactive magnetron sputtering of titanium with oxygen inlet was studied. Thanks to feedback system Speedflo the process was able to stabilise itself in former unstable hysteresis region. The results of the experiments in hysteresis region let to improvements in theoretical model based on Berg’s model.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.