Studies of influence of high temperature preannealing on oxygen precipitation in CZ Si wafers

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Studie vlivu vysokoteplotního předžíhání na precipitaci kyslíku v CZ Si deskách
Autoři

MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2012
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of crystal growth
Fakulta / Pracoviště MU

Středoevropský technologický institut

Citace
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2012.03.048
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova impurities; point defects; precipitates
Popis Studovali jsme Czochralski tažené křemíkové desky slabě dopovaný bórem po precipitaci kyslíku s použitím vysokoteplotního předžíhání.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.