ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Rok publikování 2013
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis It is commonly observed that thin layers, especially formed by compound material deposited in planar magnetron using the same deposition manners, can have slightly different properties and composition depending on the substrate position. This research shows that one of the important factors to be considered thinking about fluxes of different species on the substrate is the target erosion state.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.