Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FEKETE Matej VAŠINA Petr KLEIN Peter

Rok publikování 2013
Druh Článek ve sborníku
Konference PAPN 2013: Book of extended abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova HiPIMS; discharge current; magnetron sputtering; optical emission spectroscopy
Popis High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is nowadays often discussed topic. Physics of HiPIMS discharge is not completely understand yet. Even very basic characteristics of HiPIMS discharge like time resolved dependence of the cathode voltage and the discharge current are still discussed and interpreted. This research shows different regimes of time evolution of the discharge current depending on applied target voltage. Possible interpretation is presented.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.