Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2013
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.