Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ŽEMLIČKA Radek JÍLEK Mojmír VOGL Petr SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Rok publikování 2013
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.