Study of the nanoindentation induced defects in nanocomposite n-TiC/a-C:H films

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium nanoindentačně indukovaných defektů v nanokompozitních n-TiC/a-C:H vrstvách
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma BURŠÍK Jiří ZÁBRANSKÝ Lukáš VAŠINA Petr SOUČEK Pavel PEŘINA Vratislav
Rok publikování	2014
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Local Mechanical Properties X , Key Engineering Materials
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://www.scientific.net
Doi	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.606.159
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	nanocomposite; PVD; mechanical properties; indentation induced defects; TEM; FIB
Popis	Příspěvek se zabývá studiem termální odolnosti nanokompozitních n-TiC/a-C:H vrstev. Rovněž se zabývá odolností těchto vrstev proti vzniku a šíření indentačně indukovaných poruch jak u nezahřívaných tak i u žíhaných vrstev (500-700oC). Lamely připravené pomocí metody FIB v místě indentace byly studovány pomocí TEM.
Související projekty:	Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev