PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku
Autoři

SKÁCELOVÁ Dana ČECH Jan ČERNÁK Mirko

Rok publikování 2014
Druh Článek ve sborníku
Konference HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon
Popis Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.