MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky MEMS senzor na bázi autoemise uhlíkových nanotrubek se zjednodušeným designem: studie autoemise a chování senzoru
Autoři

PEKÁREK Jan VRBA Radomír PRÁŠEK Jan JAŠEK Ondřej MAJZLIKOVA Petra PEKÁRKOVÁ Jana ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2015
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj IEEE Sensors Journal
Fakulta / Pracoviště MU

Středoevropský technologický institut

Citace
www IEEE Web
Doi http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213
Obor Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova Carbon nanotubes; field emitter arrays; microelectromechanical systems; microwave torch
Přiložené soubory
Popis Aplikace senzorů tlaků mají v poslední době velký význam. V tomto článku je MEMs senzor založený na nanostrukturované elektrodě obsahující pole uhlíkových nanotrubek připravených pomocí metody PECVD mikrovlnných pochodňovým výbojem.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.