Temporal evolution of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS process

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav SOUČEK Pavel ZÁBRANSKÝ Lukáš VAŠINA Petr

Rok publikování 2017
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis The aim of this paper is to study the temporal evolutions of sputtered species number densities during a preceding (P) and a subsequent (S) pulse in a multi-pulse HiPIMS. The Ti atom number density does not reach the maximum at the time of the maximal discharge current. It is shown that the residual particles from the P pulse are presented at the beginning of the S pulse even for the longest studied delay between the P and the S pulse. The ionization fractions of sputtered species attained at the end of the S pulses are always lower compared to the P pulse. The coatings produced by multi-pulse HiPIMS exhibited decreased roughness and increased hardness in comparison with standard HiPIMS and DC magnetron sputtered coating.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.