The Study of Spoke Merging and Splitting in HiPIMS Plasma

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HNILICA Jaroslav KLEIN Peter LOCKWOOD-ESTRIN Francis VAŠINA Petr BRADLEY James
Rok publikování	2017
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	In our experiments, to gain more information on the temporal and spatial behaviour of self-organized spoke structures in HiPIMS plasmas, a correlation between the broadband 2-D optical image of an individual spoke and the current it delivers to the target has been made for a wide range of magnetron operating conditions. This allows us to relate the shape of spokes seen optically to their "electrical" footprint on the target.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy