Feasibility study of WBC synthesis from segmented magnetron target

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KROKER Michael SOUČEK Pavel VAŠINA Petr
Rok publikování	2017
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Advanced segmented target was used for precise controlling of the chemical composition of the deposited coating. The target was composed of W, C, B4C cylindrical segments. Both homogeneous and highly-inhomogeneous coatings were deposited on steel substrate to determine the influence of the chemical composition on the properties of the deposited coatings. W-B-C coatings were synthesized using DC and pulsed DC magnetron sputtering. Substrates and coatings were heated during deposition to the temperature of 450 °C. Different values of negative bias were applied to substrate during deposition (50 V – 400 V).
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou