Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out
Název česky | Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2017 |
Druh | Patent |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Vydavatel | United States Patent and Trademark Office |
Stát vydání | Spojené státy americké |
Číslo patentu | US9,782,805 |
www | https://patents.google.com/patent/US9782805 |
Popis | Způsob snížení nebo odstranění organické a / nebo anorganické kontaminace z vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, přičemž alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuového prostoru vakuového systému je opatřena fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy je ochlazena na teplotu v rozmezí od 0 do 280 K, přičemž fotokatalytická vrstva je následně alespoň částečně ozařována elektromagnetickým zářením, který aktivuje fotokatalytickou reakci fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféru vnitřního vakuového prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminující látky, snižuje jejich koncentraci a / nebo koncentraci vody ve vnitřním vakuovém prostoru vakuového systému. |
Související projekty: |