Temporal studies of titanium ionised density fraction in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Časově rozlišená studie ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu s příměsí dusiku
Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2021
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Source Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www Odkaz na publikáciu
Doi http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac333f
Klíčová slova plasma diagnostic; HiPIMS; ionisation fraction; titanium; nitrogen
Popis Tato publikace popisuje časový vývoj hustot základního stavu atomů a iontů titanu a podílu ionizovaných částic titanu během procesu vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování. Tento pulzní proces je studován v nereaktivní argonové atmosféře a v reaktivní argon-dusíkové atmosféře. V oblasti blízko rozprašovaného terču byla naměřena maximální podíl ionizovaných částic 95 % uprostřed pulzu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.