Analysis of thin films with slightly rough boundaries

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel HORA Jaroslav NAVRÁTIL Karel WEBER Jan JANDA Pavel
Rok publikování	1998
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Mikrochim. Acta
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/MA15_177.html
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Spectroscopic Ellipsometry; Spectroscopic Reflectometry; Atomic Force Microscopy
Popis	In this paper presented method is based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry, spectroscopic reflectometry and atomic force microscopy enabling us to determine the optical parameters and most significant statistical parameters of the rough boundaries characterizing the slightly rough single layers.
Související projekty:	Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod