Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav FRANTA Daniel TYKAL Miroslav

Rok publikování 1999
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE3820_456.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Coherent optics; Surface roughness; Metrology
Popis The values of the basic characteristics of surface roughness measured by means of optical and non-optical methods often differ mutually. So far a systematic comparison of the results obtained by those methods has not been done. The results we have achieved comparing optical and non-optical methods of the surface roughness measurement for selected samples of rough surfaces and for selected methods are presented.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.