Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan

Rok publikování 2000
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Surface and Interface Analysis
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SIA30_574.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Inhomogeneous ZrO2-films; Optical characterization; Spectroscopic ellipsometry; Spectroscopic reflectometry
Popis In this paper results concerning the optical characterization of the inhomogeneous thin films of ZrO2 are presented. The optical characterization of these films is performed using the simultaneous interpretation of experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). It is shown that the ZrO2-films exhibit a depth inhomogeneity concerning their refractive indices. Further, it is shown that the ZrO2-films studied can be replaced by the four-layer system from the point of view of satisfactory fits of the experimental data. The values of the thicknesses and spectral dependences of the refractive indices of these four films are determined. Moreover, it is proved that the individual methods, i.e. VASE and especially NNSR, can not be separately used to characterize the ZrO2-films investigated.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.