Characterization of CNx/SiOy Films Prepared by the Inductively Coupled RF Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Rok publikování 2000
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czechoslovak Journal of Physics
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis Characterization of CNx/SiOy thin films prepared in the inductively coupled radio-frequency discharge.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.