Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ELIÁŠ Marek ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan LORENC Michal

Rok publikování 2000
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Carbon; Ellipsometry; Nitrides; Mechanical properties
Popis Nanocomposite CNx/SiO thin films
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.