Plasmachemical Deposition of Thin Films

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2000
Druh Článek ve sborníku
Konference 4th Czech-Russian Seminar on Electrophysical and Thermophysical Processes in Low-Temperature Plasma
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma chemical deposition; Thin Films. hard films; plasma polymers; diamond-like
Popis PECVD deposition of thin films in RF and MW plasma. Hard diamond-like carbon thin films. Transparent SiOx thin films. Polycrystalline diamond.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.