Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FRANTA Daniel ZAJÍČKOVÁ Lenka OHLÍDAL Ivan JANČA Jan

Rok publikování 2001
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Vacuum
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/VAC61_279.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova DLC films; Ellipsometry; Optical properties; Amorphous materials
Popis In this contribution the results achieved by the optical characterization of diamond like carbon (DLC) films are presented. A multi-sample modification of variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) is used to determine the values of the thicknesses and spectral dependences of the optical constants of these films. It is shown that this optical method is very suitable for characterizing the films studied because the influences of some defects of these films are suppressed within this method. Further the spectral dependences of the optical constants determined for the DLC films studied are interpreted using a new model of dispersion based on the existence of two oscillators corresponding to both the pi-pi* and sigma-sigma* interband transitions. Within this model of dispersion of the optical constants the concept of the band gap is respected as well.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.