Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BRZOBOHATÝ Oto ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2001
Druh Článek ve sborníku
Konference JUNIORMAT 01
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry
Popis Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.