Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BRZOBOHATÝ Oto ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2001
Druh	Článek ve sborníku
Konference	JUNIORMAT 01
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry
Popis	Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Související projekty:	Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek