Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma NAVRÁTIL Vladislav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan
Rok publikování	2002
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Materials Science and Engineering A
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Temperature dependence; mechanical properties; DLC; PECVD
Popis	The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns have been studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.
Související projekty:	Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek