Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma NAVRÁTIL Vladislav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan

Rok publikování 2002
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Materials Science and Engineering A
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Temperature dependence; mechanical properties; DLC; PECVD
Popis The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns have been studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.