Hard carbon films: Deposition and diagnostics

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan MEŠKO Marcel ELIÁŠ Marek BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta Physica Slovaca
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Diamond; microwave plasma CVD
Přiložené soubory
Popis We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond film was studied.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.