The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace
Autoři	BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	SAPP XV
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	secondary electrons; computer simulation
Popis	V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek