The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace
Autoři

BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference SAPP XV
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova secondary electrons; computer simulation
Popis V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.