The Role of Secondary Electrons in Low Pressure rf Glow Discharge

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Role sekundarních elektronů v nízkotlakém rf doutnavém výboji
Autoři	BRZOBOHATÝ Oto TRUNEC David
Rok publikování	2005
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS 2005 - Proceedings of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	computer simulation; rf glow discharg; secondary electrons
Popis	V práci byla studována role sekundárních elektronů ve vf nízkotlakém doutnavém výboji. Ke studiu byla použita počítačová simulace (metoda PIC/MC). Byl studován vliv koeficientu sekundární emise (SEY) na koncentraci plazmatu. Dále byla určena relativní koncentrace a energiová rozdělovací funkce. Relativní koncentrace elektronů (vzhledem k celkové koncntraci plazmatu), vzniklých na elektrodě je 2-10% pro SEY = 0,1, resp. 5-15% pro SEY = 0,2. Díky vysoké intenzitě el. pole v elektrodové vrstvě získají tyto elektrony vysokou energii ionizují neutrální částice. Relativní koncentrace elektronů i iontů, vzniklých z ionizace sec. ele., je více než 20%.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek