Deposition and Characterisation of Nanostructured  silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings

Název česky	Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev
Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel JANČA Jan BURŠÍK Jiří KLAPETEK Petr BLÁHOVÁ Olga PEŘINA Vratislav NAVRÁTIL Vladislav
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	7th International Balkan Workshop on Applied Physics - Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Pedagogická fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	PECVD; Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon; thin films; mechanical properties; tribological properties;RBS; ERDA;
Popis	Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev byla studována pomocí měření mechanických, elektrických a optických vlastností tenkých vrstev.
Související projekty:	Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů