Deposition and Characterisation of Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Název česky Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel JANČA Jan BURŠÍK Jiří KLAPETEK Petr BLÁHOVÁ Olga PEŘINA Vratislav NAVRÁTIL Vladislav

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference 7th International Balkan Workshop on Applied Physics - Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Pedagogická fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon; thin films; mechanical properties; tribological properties;RBS; ERDA;
Popis Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev byla studována pomocí měření mechanických, elektrických a optických vlastností tenkých vrstev.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.