Poole–Frenkel conductivity in SiOxHyCz coatings prepared by PECVD
Název česky | Poole-Frenkelova vodivost ve vrstvách SiOxHyCz deponovaných PECVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Czechoslovak journal of physics |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Conductivity of thin films; Frenkel-Poole |
Popis | Cílem této práce je studovat rozdílné elektrické vlastnosti tenkých vrstev vytvořených plazmochemickou depozicí. |
Související projekty: |