Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu
Autoři

VAŠINA Petr MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe GANCIU Mihai BOISSE-LAPORTE Caroline DE POUCQUES Ludovic TOUZEAU Michel PAGNON Daniel BRETAGNE Jean

Rok publikování 2007
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova magnetron; sputtering; high power pulses
Popis Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.