Model of reactive magnetron sputtering process with non-uniform discharge current density

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Model reaktivního magnetronového naprašování s nerovnoměrnou proudovou hustotou
Autoři

VAŠINA Petr HYTKOVÁ Tereza ELIÁŠ Marek

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceeding of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova magnetron sputtering; reactive; Berg
Popis Model reaktivního magnetronového naprašování s nerovnoměrnou proudovou hustotou, sborník
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.