Scanning probe microscopy analysis of delaminated thin films

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Analýza tenkých delaminovaných vrstev pomocí SPM
Autoři	KLAPETEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma VALTR Miroslav
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Physics: Conference Series
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	Scanning probe microscopy; delaminatio; thin films
Popis	In this article the results of atomic force microscopy (AFM) and scaning thermal microscopy (SThM) of delaminated thin films are presented. It is shown that SThM data can be used for a very precise localisation of the delaminated areas that is necessary for the analysis of film material properties. Moreover, by using AFM it is also possible to characterize morphology of the blister upper boundary with a high resolution too. The quantitative results obtained by the above mentioned methods are compared with nanoindentation measurements.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů