Role vodíku na strukturální změny SiGe:H vrstev

Autoři

SLÁDEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma SŤAHEL Pavel

Rok publikování 2011
Druh Článek ve sborníku
Konference Sborník příspěvků 5. České fotovoltaické konference
Fakulta / Pracoviště MU

Pedagogická fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova hydrogen; thin films; SiGe
Popis Příspěvek je zaměřen na studium vlivu role vodíku na vlastnosti tenkých vrstev SiGe:H. Pro zjištění optoelektronických vlastností vrstev byly použity metody IČ, PDS, CPM, a dynamická intendační metoda pro stanovení mechanických vlastností. Navíc byly vzorky podrobeny měření termální desorpce vodíku. Výsledky ukazují na různé zabudování vodíku se změnami depozičních podmínek.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.