Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Mechanické vlastnosti tenkých vrstev, připravených metodami TVA a G-TVA
Autoři

STOICA Adrian VLADOIU Rodica MUSA Geavit CIUPINA Victor CONTULOV Mirela BURŠÍKOVÁ Vilma BLÁHOVÁ Olga

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chemicke Listy
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.chemicke-listy.cz/common/article-vol_105-issue_14-page_s132.html
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Thermionic Vacuum Arc; Gaseous Thermionic Vacuum Arc; DLC coatings; nanoindentation
Popis Thermionic vakuové Arc (TVA) plazma je velmi perspektivní technologií umožňující růst tenkých vrstev ve vakuu. Použitím této technologie bylo připraveno řada materiálů, a to i např. žáruvzdorné. V tomto příspěvku pro syntézu DLC je popsáno rozšíření metody TVA pomocí reaktivních plynů (G-TVA). Použití metanu,významně rozšiřuje použitelnost techniky TVA pro syntézu tenkých vrstev z pevné látky a plynových prekurzorů.Byly studovány mechanické vlastnosti deponovaných vrstev filmů. Popsané metody umožňují připravit uhlíkové vrstvy s širokou škálou mechanických vlastností od polymerupodobných uhlíkových vrstev až po tvrdých diamantupodobných vrstev.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.