Characterization of ultrananocrystalline diamond thin films using low energy scanning electron microscopy

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ŠPERKA Jiří ZAJÍČKOVÁ Lenka JAŠEK Ondřej DVOŘÁK Pavel MIKMEKOVÁ Šárka SCHÄFER Jan

Rok publikování 2011
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis This paper deals with the low energy scanning electron microscopy characterization of ultrananocrystalline diamond films. These films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using dual frequency discharge.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.