Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr SOUČEK Pavel

Rok publikování 2011
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.