Methods for determining and processing 3D errors and uncertainties for AFM data analysis

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Metody určování a zpracování 3D chyb a nejistot pro analýzu AFM dat
Autoři

KLAPETEK Petr NEČAS David CAMPBELLOVÁ Anna YACOOT A. KOENDERS L.

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Measurement Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://iopscience.iop.org/0957-0233/22/2/025501/
Doi http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/2/025501
Obor Senzory, čidla, měření a regulace
Klíčová slova atomic force microscopy; 3D calibration; measurement uncertainty
Popis This paper describes the processing of three-dimensional (3D) scanning probe microscopy (SPM) data. It is shown that 3D volumetric calibration error and uncertainty data can be acquired for both metrological atomic force microscope systems and commercial SPMs. These data can be used within nearly all the standard SPM data processing algorithms to determine local values of uncertainty of the scanning system. If the error function of the scanning system is determined for the whole measurement volume of an SPM, it can be converted to yield local dimensional uncertainty values that can in turn be used for evaluation of uncertainties related to the acquired data and for further data processing applications (e.g. area, ACF, roughness) within direct or statistical measurements. These have been implemented in the software package Gwyddion.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.