Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Konfidenční interval pro vzdálenost dvoch mikro/nano struktúr a její aplikace v dimensionální metrologii
Autoři	WIMMER Gejza KAROVIČ Karol WITKOVSKÝ Viktor KÖNING Rainer
Rok publikování	2011
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Aplikovaná statistika, operační výzkum
Klíčová slova	Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals
Popis	Navrhla se metoda pro výpočet aproximatívního konfidenčního intervalu (Bonferroniho typu) pro vzdálenost dvoch mikro a/anebo nanostruktur při použití údajů dálkového komparátora. Tento postup zabezpečuje určení souřadníc hran, polohy a šířky struktury pomocí jejího fotometrického profilu. Postup je demonstrován na datach z komparátora v PTB Braunschweig v Německu.
Související projekty:	Centrum Jaroslava Hájka pro teoretickou a aplikovanou statistiku