PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vlastnosti modifikovaných amorfních uhlíkových tenkých vrstev připravených metodou PECVD
Autoři

STOICA Adrian MOCANU Valentin ČUPERA Jan KELAR Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2012
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chem. listy
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.chemicke-listy.cz/common/content-issue_s5-volume_106-year_2012.html
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova RF-PECVD; amorphous carbon; protective coatings; DLC;
Popis Cílem této práce bylo připravit sadu DLC vrstev z různých směsí prekurzorových plynů (metan, vodík, deuterium, dusíku a / nebo HMDSO) pomocí RFPECVD na substráty, jako jsou krystalický křemík, sklo a ocel. Připravené vrstvy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických nástrojů. Vlastnosti čistých a modifikovaných amorfních uhlíkových vrstev s různými přísadami (N, Si, O, D) byly srovnávány. Mechanické zkoušky byly provedeny především pomocí hinstrumentované indentační techniky. Svou pozornost jsme zaměřili na následující vlastnosti: tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, přilnavost vrstvy k substrátu. Navíc jsme studovali vliv vnitřního pnutí na vtiskovou odezvu systému vrstva-substrát. Tribologické vlastnosti vrstev byly také zkoumány. Povrchová volná energie vrstev byla určena měřením kontaktního úhlu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.