Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2015
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	HIPIMS; OES; titanium
Popis	The aim of this paper is to experimentally study effect of preceding pulse on the temporal evolution of number densities of sputtered species during the subsequent pulse for different delay time between two successive high-power pulses in the pulse packet. Time evolutions of sputtered species during and after pulse in single-pulse mode are presented, too. Intensities of selected lines of buffer gas were acquired during every measurement.
Související projekty:	Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy