Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FEKETE Matej BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2017
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis During the last decade the HiPIMS has shown great promise in the field of reactive thin film deposition. In the reactive HiPIMS (R-HiPIMS), the discharge power is delimited within short energetic pulses which, in addition to an enhanced ionization of the sputtered species, also leads to an enhanced dissociation of the reactive gas molecules resulting in an increasing gas reactivity with the surface, which is ultimately beneficial for the thin film formation.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.