Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

• Název česky: Strukturní a feromagnetické vlastnosti naprašovaných měkkých magnetických multivrstev FeCoB/AlN pro GHz aplikace
• Autoři: FALUB Claudiu Valentin; HIDA Rachid; MEDUŇA Mojmír; ZWECK Josef; MICHEL Jean-Philippe; SIBUET Henri; SCHNEIDER Daniel; BLESS Martin; RICHTER Jan H.; ROHRMANN Hartmut
• Rok publikování: 2017
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/
• Doi: http://dx.doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: FeCoB; high-frequency permeability; magnetic multilayers; magnetron sputtering; soft magnetic materials
• Popis: V tomto článku jsme studovali strukturní a magnetické vlastnosti amorfních tenkovrstvých vrstev FeCoB/AlN s rovinnou jednoosovou magnetickou anizotropií založenou na slitině Fe-28% Co-20% B, vypěstované na 8" Si/200 nm-termo-SiO2 deskách v průmyslovém, vysoce výkonném magnetronovém rozprašovacím systému.

Související projekty

• CEITEC - středoevropský technologický institut
• CEITEC - open access
• CEITEC 2020