Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít BURŠÍKOVÁ Vilma JANČA Jan

Rok publikování 2000
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.