Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2002
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Non-Crystalline Solids
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	silicon solar cells; antireflective coatings; diamond-like films; PECVD
Popis	Silicon incorporated diamond-like antireflective coatings were deposited upon the silicon solar cells in order to improve their efficiency. The films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from the mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and methane. The optical and tribological properties of the coatings could be easily changed by the percentage of the HMDSO in the deposition feed.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek