Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Autoři

SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel

Rok publikování 2002
Druh Článek ve sborníku
Konference Conference Proceedings of Inter-Academia 2002
Fakulta / Pracoviště MU

Pedagogická fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge
Popis Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.