Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

• Autoři: SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Conference Proceedings of Inter-Academia 2002
• Fakulta / Pracoviště MU: Pedagogická fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge
• Popis: Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek