Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel KUDRLE Vít ŠMÍD Radek

Rok publikování 2002
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova RF discharge; mode transition; sheath
Přiložené soubory
Popis We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.