Plasmachemical nitridation of boron precursors

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ELIÁŠ Marek KUDRLE Vít JANČA Jan BROŽEK Vlastimil
Rok publikování	2002
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	boron nitride; plasma chemistry
Přiložené soubory	206_1.pdf sppt2002.zip
Popis	We carried out the plasmachemical nitridation of boron precursors
Související projekty:	Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek