Optical diagnostics of atmospheric pressure glow discharge in nitrogen with admixture of organosilicon

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	NAVRÁTIL Zdeněk SŤAHEL Pavel TRUNEC David BURŠÍKOVÁ Vilma BRABLEC Antonín
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of ICPIG XXVI
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	atmospheric pressure glow dicharge; spectroscopy; nitrogen; organosilicon
Popis	The atmospheric pressure glow discharge in nitrogen with small admixture of different organosilicon compounds such as hexamethyldisilazane and hexamethyldisiloxane was studied by means of emission spectroscopy. The deposited films were studied by means of indentation techniques.
Související projekty:	Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev