Study of Mechanical Properties of Nanostructured Multilayer NbN/C-N Coatings Prepared by Reactive Sputtering

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	BURŠÍKOVÁ Vilma SOBOTA Jaroslav BURŠÍK Jiří
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of SAPP XIV
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	mechanical properties; nanostructured multilayer coatings; reactive sputtering
Popis	A complex analysis of the identation response of thin film - substrate systems measured by depth sensing indentation method was done. The effects of the mechanical properties of the substrate on the effective hardness were studied for several different substrates and the existing theoretial models for substrate influance were tested.
Související projekty:	Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek