Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

KADLEČÍKOVÁ Magdaléna BREZA Juraj VESELÝ Marián FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan JANÍK Ján BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Microelectronics Journal
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Microwave plasma assisted chemical vapour deposition; Diamond; Raman spectroscopy
Přiložené soubory
Popis Raman spectroscopy is employed to characterize thin diamond films deposited by microwave plasma assisted chemical vapour deposition technique using a gas mixture of methane and hydrogen. The surface morfology of the films was analyzed by scanning electron microscopy. We have identified submicron crystals on (100) facets of diamond crystals which gave rise to bands in the Raman spectrum centred at 1170 and 1456 cm-1.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.